В НГТУ НЭТИ идёт работа по программе «Приоритет-2030». Здесь создали конструкцию и технологию выпуска приборов вакуумной микроэлектроники. Такие устройства управляют потоками свободных электронов, которые движутся в вакууме. Эту информацию сообщает издание АК&М.
Проект также охватывает разработку транзисторов и диодов, где вакуумный канал выполнен в наноразмерах и интегральном исполнении. Их готовят для мощных силовых и СВЧ-устройств, работающих со сверхвысокочастотными колебаниями. Нужны не только конструкция, но и технология, и маршрут изготовления.
Сейчас готов макет АДТВ — автоэмиссионного диода-транзистора. Его вакуумный канал вертикальный и наноразмерный. В таком приборе электроны переносит не полупроводник, а вакуум. Устройство отличается простой конструкцией, низким пороговым напряжением, способностью работать при высокой температуре и стойкостью к радиации. Поэтому его можно ставить в радиоэлектронную аппаратуру для ракетно-космической отрасли и ОПК.
Руководитель проекта Дмитрий Чесноков — кандидат технических наук, доцент и научный сотрудник центра технологического превосходства вуза. По его словам, АДТВ повторяет главные функции электровакуумного диода-триода и электронных ламп, но занимает мало места. В проект входит вакуумный диод с наноразмерным зазором и наноантенной для терагерцового диапазона. Также предусмотрен вакуумный фотодиод с наноразмерным зазором на тот же диапазон.
Уже создан опытный образец фотодиода, у которого зазор наноразмерный, а среда — вакуум. Он ослабляет влияние пространственного заряда, усиливает туннельный ток, улучшает параметры оптических приборов. На его основе можно выпускать детекторы излучения, где сигнал модулируется на терагерцовой частоте.
Уникальным назван и метод выпуска интегральных диодов и триодов, работающих как электровакуумные приборы. У них вертикальный вакуумный канал, рассчитанный на терагерцовый диапазон. Заявка на это изобретение ушла в Роспатент.
На следующий год намечено создать технологические процессы, отсутствующие сейчас в российских техцентрах. Также предстоит сформулировать задания для маршрутов изготовления прототипов силовых приборов вакуумной микроэлектроники. Ещё один шаг — коммерциализация выпуска АДТВ.